税则号列

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3824.9090

硅靶材

“硅靶材”有两种型号：T1239和T1240，由不锈钢衬管和热喷涂在衬管表面的硅粉末组成。主要成分为：硅＞90.5%、铝9.0%～9.5%、铁＜0.05%、铜＜0.01%，其中铝、铁等成分系添加剂，起稳定材料属性的作用。该商品是生产节能镀膜玻璃的磁控溅射设备耗材，使用时，将玻璃作为阳极，硅靶材作为阴极。在真空状态下的电磁场中，使加入的纯气体电离并撞击该硅靶材，分离出硅粉末等离子体，沉积到玻璃表面，形成薄膜。

“硅靶材”已固定了规格尺寸，无需再加工，其中的钢管仅起载体作用，根据《税则》归类总规则三（二），该硅靶材应归入税则号列3824.9090。

Z2006-1245

2007年12月5日