税 目：84861040 商品名称：专用或主要用于制造晶圆用的化学机械抛光设备
商品描述： （CMP） 子目8486.1040专用或主要用于制造晶圆用的化学机械抛光设备（CMP）,是一种专用于晶圆表面抛光的设备。该设备一般由三部分组成：旋转的硅片夹持系统、承载抛光垫的工作台、抛光液（浆料）供应系统。
