税 目：84862031
商品名称：用于制造半导体集成电路的分布重复光刻机
商品描述：
子目8486.2031分布重复光刻机，又称步进光刻机，是将电路图绘制到涂有光敏材料，即光刻胶的半导体晶圆上的设备。该设备采用投影技术，按照“对准→曝光→移位”的步骤，可将掩膜版缩小或1：1地对圆片进行曝光，每次曝光圆片的一部分，进行重复操作，最终在整张半导体晶圆生成尺寸精确的电路图形。
必须注意到，虽然子目8486.2031的分布重复光刻机（用于生产集成电路）和子目8486.3031的分布重复光刻机（用于生产平板显示器）的功能和工艺完全相同，但是由于用于完全不同的两个领域，其专用性非常明显，根据其工作腔体的体积、尺寸可以明显地区分两种用于不同行业的光刻机。
